日本KASUGA春日靜電點位監(jiān)視裝置

長處

• 放大器部分（驅(qū)動電路部分）內(nèi)置于檢測單元中，使其價格低廉且緊湊。

• 可以以較低的成本構(gòu)建過去昂貴的靜電監(jiān)測系統(tǒng)。

• 可以通過開關(guān)改變測量范圍，并且可以進行從低電位到高電位的廣泛測量。

• 它配備了檢測傳感器的故障指示 LED，可以輸出到外部。

用

• 平板顯示器生產(chǎn)過程中的電荷監(jiān)控。

• 半導(dǎo)體晶圓電荷監(jiān)測。

• LSI 處理和 PCB 運輸期間的電荷監(jiān)控。

規(guī)范

日本KASUGA春日靜電點位監(jiān)視裝置

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